七星華創流量計

簡要描述：七星華創流量計流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量（無需溫度壓力補償）。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節閥門，閉環控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。

產品型號： D07系

所屬分類：天然氣流量計

更新時間：2022-03-24

廠商性質：生產廠家

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詳情介紹

品牌	其他品牌	產地類別	國產
應用領域	化工,生物產業,石油,電子,航天

七星華創流量計質量流量計(Mass Flow Meter 縮寫為 MFM) 用于對氣體的質量流量進行精密測量；質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、石油工業、醫藥、環保和真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的應用場合包括: 電子工藝設備, 如擴散、氧化、外延、CVD、等離子刻蝕、濺射、離子注入; 以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其它分析儀器。

七星華創流量計使用腐蝕性氣體問題：

流量計氣流通道采用的材料為: 00Cr17Ni14Mo2 (相當于 316L 不銹鋼)，氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統無水汽、低泄漏、勤清洗、使用得當的條件下，可以用于控制一般的腐蝕性氣體。使用氨氣的用戶應在定貨時聲明。9E、9EM 型流量計產品不能用于有機溶劑蒸汽（如丙酮等）和 BCl3、BBr3 等強腐蝕性氣體。閥口的密封材料通常為氟橡膠或耐氨橡膠，對于 9E 型質量流量控制器也可以選用聚四氟乙烯；當選用四氟乙烯時，閥口容易出現漏氣，閥口密封的漏氣率小于滿量程流量的 2%；對于使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應改變。

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